2007年12月19日，中科院微電子所微電子設備技術(shù)研究室成立，夏洋研究員擔任研究室主任。研究室的主要研究方向包括新型集成電路制造與測試裝備、新型太陽(yáng)能電池制造技術(shù)和裝備、高效率LED(發(fā)光二極管)制造技術(shù)和裝備、MEMS(微機電系統)加工技術(shù)和裝備及關(guān)鍵的射頻功率源系統技術(shù)。

　　憑借近30年的技術(shù)積累以及全體人員的努力，經(jīng)過(guò)近5年時(shí)間的發(fā)展，研究室的研究成果占領(lǐng)國內IC(集成電路)領(lǐng)域新原理設備制高點(diǎn)，在國際上與現有技術(shù)生產(chǎn)廠(chǎng)商形成競爭態(tài)勢，設備主要包括等離子體浸沒(méi)注入機、原子層沉積設備、光學(xué)檢測系統、射頻電源等，當前研究室的產(chǎn)品已廣泛用于國際國內涉及微電子、光電子、MEMS等領(lǐng)域的企業(yè)、高校及研究機構。

　　近日，儀器信息網(wǎng)編輯特別采訪(fǎng)了夏洋主任，請他談了談研究室在儀器設備研制、產(chǎn)業(yè)化方面的經(jīng)驗及我國科學(xué)儀器研制的政策支持情況。

在儀器研制方面都有哪些經(jīng)驗?

　　“5年前，當時(shí)微電子研究所里有三四個(gè)儀器研究團隊，都是一個(gè)研究員帶幾個(gè)助手，大家各自為戰，這樣力量比較分散，于是我向所里建議把這些團隊合并起來(lái)，所里對我們的建議很支持，希望我們能將微電子設備技術(shù)的研究做大、做強，在2007年末正式成立微電子設備技術(shù)研究室”，夏洋主任介紹說(shuō)。

　　(1)進(jìn)行團隊建設，堅持做好一件事

　　“研究室成立后所里進(jìn)行儀器研制的各項資源就集中起來(lái)，之后我們又購置研制儀器所需的各項裝備、招聘所需的人才，這樣我們的研究平臺就形成一定的規模。起初我們只有30人左右，當時(shí)也不好招人，沒(méi)人愿意來(lái)，缺乏相關(guān)專(zhuān)業(yè)的人才，現在隨著(zhù)我們科研能力的提升，以及國家對儀器行業(yè)投入的加大和重視，來(lái)自海外和國內的求職者都特別多，至今已形成了約150人的團隊。”

　　“在我們的團隊中不僅有4名國家‘千人計劃’人才，七八名‘百人計劃’人才，還有十幾名退休返聘人員，他們年齡最大的有70多歲。在管理機制方面，我們也不會(huì )墨守成規，在我們的團隊中有人想創(chuàng )業(yè)，我們也允許他們一邊做科研，一邊組織團隊成立公司。我們堅持唯才是用，只要是有用的人才，我們不會(huì )去限制他們發(fā)揮自己的才能，而是為他們提供機會(huì )更好地展示自己的能力。”

　　(2)科研和生產(chǎn)兩條腿走路，在資金和技術(shù)方面相互支撐

　　資金短缺也是儀器研制當中常常面臨的一個(gè)問(wèn)題，很多項目研制出一臺樣機之后，由于沒(méi)有后續資金支持，進(jìn)行進(jìn)一步的商品化開(kāi)發(fā)，所以就被擱在實(shí)驗室里，很難對國外儀器形成競爭，對我國的科研開(kāi)發(fā)也難談?wù)嬲呢暙I。

　　夏洋主任介紹說(shuō)：“研究室現在是科研和生產(chǎn)兩條腿走路，這兩部分工作在資金和技術(shù)上相互支撐。我們一邊進(jìn)行儀器研制，一邊生產(chǎn)儀器進(jìn)行銷(xiāo)售，同時(shí)我們和企業(yè)也有一些合作項目。在銷(xiāo)售方面我們現在還沒(méi)有開(kāi)始做太多的工作，客戶(hù)主要集中在科研院所，每年銷(xiāo)售收入在1000萬(wàn)至2000萬(wàn)元。”

　　“現在我們研制第一臺樣機基本都是依靠國家資金的支持，第二臺樣機的研制經(jīng)費就得靠自己來(lái)解決，做到第三臺樣機，我們就爭取訂貨銷(xiāo)售出去。目前我們已經(jīng)形成了這樣一個(gè)良好的工作局面。”

　　(3)和企業(yè)合作是進(jìn)行儀器研發(fā)的一個(gè)非常重要的方向

　　“另外，儀器研發(fā)和企業(yè)合作是一個(gè)非常重要的方向，關(guān)起門(mén)來(lái)搞科研容易與社會(huì )需求脫節。而且儀器研制中硬件技術(shù)是一方面，方便用戶(hù)操作使用，以及更好地解決實(shí)際應用問(wèn)題，這是另一方面，之前已經(jīng)有不少企業(yè)和我們合作，他們的思路和看問(wèn)題的角度與我們不一樣，對我們來(lái)說(shuō)幫助很大”，夏洋主任談到。

　　“同企業(yè)的合作中存在的一個(gè)主要問(wèn)題是，對于市場(chǎng)的變化，企業(yè)更多的是關(guān)注眼前，‘看單下菜’，難以做出長(cháng)遠的布局，這樣在市場(chǎng)競爭中，很難搶占先機。所以在合作中，我們需要更多的溝通和理解。”

　　“同時(shí)和企業(yè)合作，信任度以及利益分配機制也是一個(gè)的問(wèn)題。解決這一問(wèn)題的主要方式是雙方在合作中要有誠意。一般在合作中，我們希望企業(yè)人員參與研發(fā)過(guò)程，并將相關(guān)的技術(shù)教給他們，同時(shí)項目交接后我們也派出團隊去企業(yè)當中，進(jìn)行后續跟進(jìn)，幫助企業(yè)解決問(wèn)題，這樣既幫助企業(yè)培養人才，解決問(wèn)題，同時(shí)對于防止我們自己的人才流失也很有幫助。在資金方面，對于企業(yè)來(lái)說(shuō)他們會(huì )擔心投資風(fēng)險，所以目前我們的合作方式一般是先直接收取一部分資金用于研發(fā)，另外一部分資金從項目投產(chǎn)后的長(cháng)遠收益中獲得。”

　　(4)未來(lái)瞄準教學(xué)儀器市場(chǎng)

　　對于研究室未來(lái)的研究規劃，夏洋主任表示，“我們發(fā)現隨著(zhù)儀器自動(dòng)化、智能化的提升，以及昂貴的價(jià)格，使學(xué)生的動(dòng)手能力受到了很大的限制。所以我們希望能做一些教學(xué)儀器，這類(lèi)儀器要很好的展示儀器原理和設計，操作性強，要能夠更好地互動(dòng)。進(jìn)口儀器現在還沒(méi)有關(guān)注這一領(lǐng)域，而且我們做這類(lèi)儀器有成本優(yōu)勢，所以市場(chǎng)前景還是比較樂(lè )觀(guān)。”

　　國家對科學(xué)儀器研制的資金支持情況?

　　談到近年來(lái)國家對于科學(xué)儀器研制的資金支持情況，夏洋主任說(shuō)到：“我國的科學(xué)儀器行業(yè)的發(fā)展從建國到改革開(kāi)放逐漸發(fā)展到一個(gè)頂峰，后來(lái)逐漸穩定下來(lái)，從上個(gè)世紀九十年代開(kāi)始，國家逐漸重視科學(xué)儀器的發(fā)展，現在經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展正在逐漸達到另一個(gè)峰值。”

　　“1993年，在國家財政依然十分緊張的情況下，中科院就設立了儀器設備的專(zhuān)項資金。至2000年，共支持研制和改造科學(xué)儀器科研項目總數達400余項，支持經(jīng)費總額約為1.5億元。截止到2006年底，中科院科學(xué)儀器自主研制項目從最初的每年8項增長(cháng)到每年40多項，累計總投入約3.7億元，平均項目支持強度超過(guò)200萬(wàn)元。”

　　“國家自然科學(xué)基金委(基金委)于1998年設立了科學(xué)儀器基礎研究專(zhuān)項，當年一共資助了5個(gè)項目，總資助經(jīng)費400萬(wàn)元。而到2011年，基金委科學(xué)儀器基礎研究專(zhuān)項共資助55項，金額1.5億元，并啟動(dòng)了國家重大科研儀器設備研制專(zhuān)項，首批重大科研儀器設備研制專(zhuān)項資助9項，金額5.7億元。”

　　“另外，科技部、財政部2011年首次啟動(dòng)‘國家重大科學(xué)儀器設備開(kāi)發(fā)專(zhuān)項’。重點(diǎn)支持具有市場(chǎng)推廣前景的重大科學(xué)儀器設備開(kāi)發(fā)，每年的支持金額達到數十億元。”

　　科學(xué)儀器研制還需要哪些方面的支持?

　　國家對于科學(xué)儀器研制的資金支持，可以說(shuō)是達到了前所未有的高度，那么在項目執行當中，還需要注意哪些問(wèn)題呢?夏洋主任也談了幾點(diǎn)自己的看法。

　　(1)選擇具有研發(fā)實(shí)力的企業(yè)給予支持

　　“現在我國提倡技術(shù)創(chuàng )新應以‘企業(yè)創(chuàng )新為主體’，國家重大科學(xué)儀器設備開(kāi)發(fā)專(zhuān)項也優(yōu)先支持科學(xué)儀器設備企業(yè)作為實(shí)施主體的項目。創(chuàng )新是一個(gè)研發(fā)的過(guò)程，需要企業(yè)有配套的研發(fā)人員及研發(fā)平臺。中國的企業(yè)大部分沒(méi)有成型的研發(fā)隊伍，企業(yè)有生產(chǎn)能力，但研發(fā)能力不一定強，所以要確保項目的順利完成，一定要對企業(yè)的綜合研發(fā)實(shí)力，以及進(jìn)行某類(lèi)具體儀器研發(fā)的技術(shù)積累進(jìn)行考核。”

　　(2)國家整體政策要配套

　　“另外，國家整體政策不配套也是一個(gè)問(wèn)題，比如按照《科學(xué)研究和教學(xué)用品免征進(jìn)口稅收規定》，我們現在進(jìn)口科研儀器整機是免稅的，但進(jìn)口零部件不免稅，所以研發(fā)儀器的成本比整機要貴很多，這樣是不利于促進(jìn)科研院所的老師們進(jìn)行儀器研制的。”

　　(3)進(jìn)行科學(xué)儀器研制平臺建設

　　“此外，我認為儀器研發(fā)一定要進(jìn)行團隊或平臺建設才行，一方面儀器研發(fā)是多種技術(shù)的融合，需要的綜合知識特別強，如物理、化學(xué)、材料、機械設計、自動(dòng)控制、軟件等，所以一定要注意合作和團隊建設，一個(gè)人單獨做很難完成。”

　　“另外儀器的研制需要一代一代的堅持研究，在儀器研制過(guò)程當中，搭建出來(lái)的第一臺儀器只要自己能用就已經(jīng)很了不起;然后再通過(guò)不斷改進(jìn)，推出第二臺樣機，如果第三臺能做成商業(yè)機型就已經(jīng)很順利，從開(kāi)始研制到最后實(shí)現產(chǎn)業(yè)化，整個(gè)過(guò)程大概得三五年時(shí)間，甚至更長(cháng)才行?，F在許多老師，在儀器研制方面有好的想法，但是帶著(zhù)一批學(xué)生做了3年之后，學(xué)生畢業(yè)了，課題經(jīng)費也沒(méi)有了，這個(gè)項目就結束了，沒(méi)有持續跟進(jìn)。”

　　“研制儀器需要不斷的堅持，國外的許多儀器企業(yè)都有上百年的歷史，其實(shí)從原始創(chuàng )新到實(shí)現商業(yè)化產(chǎn)品，一般也得10-20年的時(shí)間，然后再通過(guò)一代一代的積累和更新，儀器的性能越來(lái)越好。所以如果通過(guò)買(mǎi)儀器來(lái)做研究，我們在技術(shù)起步上至少比別人落后10-20年，很難實(shí)現超越。”

　　“因此國家或許可以設置專(zhuān)門(mén)進(jìn)行儀器研發(fā)的重點(diǎn)實(shí)驗室，這樣有一個(gè)固定的人員和研發(fā)平臺，希望通過(guò)持續的研究能實(shí)現從原始創(chuàng )新，到研制出可用于科學(xué)研究的儀器，最后到實(shí)現規?；a(chǎn)的儀器這一流程，而不是半途而廢，這樣我們的科學(xué)儀器事業(yè)才能逐漸發(fā)展起來(lái)。”

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